氧化鑭鈰稀土拋光液產(chǎn)品特點(diǎn):穩(wěn)定性高、分散性好、拋光速度快、磨削力強(qiáng)、無(wú)拋光缺陷、可循環(huán)使用。 應(yīng)用領(lǐng)域:該系列產(chǎn)品主要用于集成電路、半導(dǎo)體硅片、電子芯片等產(chǎn)品的拋光。
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